工作原理及过程
1、初始状态
初始状态下，阀1~阀6为关闭状态，阀1控制分子泵出气口的通断，阀3控制分子泵进气口的通断、同时起到加压状态(0.4 MPa)下保护分子泵的作用，阀2控制实验腔进行高压放气和真空保持，阀4、阀5和阀6相应控制Ar、O2或N2气源的供气通断，阀3在高压状态(0.4 MPa)下保护真空电离规、真空状态下打开真空测量通路，阀7至阀9对高压气源减压至满足自锁阀工作压力，设定压力为实验项目要求压力。
2、加压状态
(1)当实验腔进行N2 加注时：关闭阀1、阀2、阀3、阀4和阀5，打开阀6进行N2注入，当实验腔压力达到要求压力时，压力传感器1将实验腔的压力反馈至控制单元并关闭阀6；
(2)当实验腔进行Ar加注时：关闭阀1、阀2、阀3、阀4和阀6，打开阀4进行Ar注入，当实验腔压力达到要求压力时，压力传感器1将实验腔的压力发送至控制单元关闭阀4，同时氧分压传感器检测氧分压，并将检测值反馈至控制单元，控制单元控制阀5将实验腔内氧分压保持在10-5~10-2 Pa之间；
(3)压力传感器2和压力传感器3分别检测Ar气瓶和O2气瓶内部压力，当压力接近减压阀预设压力后提示更换满瓶Ar气瓶或O2气瓶。